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VTC-100PA 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)(加熱型)
產(chǎn)品簡介:

VTC-100PA 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)(加熱型)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2025-02-17

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪問量:1238

服務(wù)熱線

0755-26959531

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產(chǎn)品介紹

 

VTC-100PA(加熱型) 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、

強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

 性能指標(biāo)和基本配置
主要特點(diǎn)

● 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
● 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
● 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
● 設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。
● 電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
● 50W/24V 直流電機(jī)
● 適于在Ar氣環(huán)境中工作(真空泵放置在手套箱外)

參數(shù)

● 電機(jī)功率:50W/24V
● 速度范圍:500-10000rpm
● 程序運(yùn)行:可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段
● 增減速率設(shè)置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
● 時(shí)間范圍:0-60s
● 吸盤:Φ19mm、Φ60mm

進(jìn)氣口

上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體,實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
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可選加熱部分

上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數(shù)字溫控器控溫,最高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。
   image.png

產(chǎn)品尺寸

450mm×280mm×340mm;

產(chǎn)品重量

20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

真空吸盤(含O型圈)2個(gè)
2中心定位器(含4個(gè)定位柱)1個(gè)
3滴膠注射器(20ml)1個(gè)
4注射器支架1個(gè)
5AP-1400V無油真空泵1臺(tái)
6橡膠管(含卡箍)1根
可選配件過濾器(真空泵用)
保修期一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

VTC-100PA(加熱型) 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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